晶圆测温系统(TC-WAFER)

智测  TC WAFER 晶圆测温系统 

热电偶晶圆测温系统热电偶晶圆测温系统是一种用于测量晶圆表面温度的高精度仪器。它具有测量范围广、精度高、响应速度快、稳定性好等优点，因此在半导体制造、光伏产业等领域得到了广泛应用。

TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。

- 传输通道数量可定制;

- 优异的软件功能，可用图形及颜色显示温度分布状况;

- 数据可储存调用;

- 可提供温度曲线图，方便直观的看到温度变化趋势

- 真空环境下，温度传感器保持高精度和良好的稳定性

TC-Wafer晶圆温度测量系统应用于许多行业，包括快速热处理 (RTP)、快速热退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、ION 等应用注入、太阳能电池和许多其他热驱动工艺。智测电子具有高精度温度测量与控制技术和经验，支持产品定制