MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
MFC330工作原理
产品特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大:0-1MPa
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
主要参数
介质要求
洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
测量范围 0.5%F.S.(1:200)
控制范围 1%-100% FS.(1:100)
准确度 ±1% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间 <3 秒
预热时间 5 min(T95),30 分钟***佳
阀门 常闭式