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[促销] 气体流量计(MFC330)

气体流量计
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MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

MFC330工作原理

产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大:0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

主要参数

介质要求

洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

测量范围  0.5%F.S.(1:200)

控制范围  1%-100% FS.(1:100)

准确度  ±1% F.S.

重复精度 ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

控制响应时间  <3 秒

预热时间  5 min(T95),30 分钟***佳

阀门  常闭式

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